ГОСТ 8-592-2009 Государственная система обеспечения единства измерений Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристалического кремния Требования к геометрическим формам линейным размерам и выбору материала для изготовления
ГОСТ 8.592-2009 Группа Т88.1 МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ Государственная система обеспечения единства измерений МЕРЫ РЕЛЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА ИЗ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Geometrical shapes, linear size and manufacturing material requirements МКС 17.040.01 Дата введения… Читать далее »